标准编号：GB/T 15870-1995
标准名称：硬面光掩模用铬薄膜
标准类型：推荐性
标准英文：Chrome thin films for hard surface photomasks
标准状态：现行
发布日期：1996-08-01
实施日期：1995-12-22
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L97
国际标准分类：31.030
技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：>国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：长沙韶光微电子总公司
起草人：