标准编号：GB/T 16527-1996
标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
标准类型：推荐性
标准英文：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
标准状态：现行
发布日期：1997-05-01
实施日期：1996-09-09
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L90
国际标准分类：31.200
技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：>国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：长沙韶光微电子总公司
起草人：