标准编号：GB/T 16878-1997
标准名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
标准类型：推荐性
标准英文：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
标准状态：现行
发布日期：1998-03-01
实施日期：1997-06-20
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L97
国际标准分类：31.200
技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：>国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：中国科学院缩微电子中心
起草人：