标准编号:GB/T 18032-2000
标准名称:砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
标准类型:推荐性
标准英文:The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
标准状态:现行
发布日期:2000-09-01
实施日期:2000-04-03
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:冶金
国内标准分类号:H24
国际标准分类:77.040.01
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:北京有色金属研究总院
起草人: