标准编号：GB/T 18682-2002
标准名称：物理气相沉积TiN薄膜技术条件
标准类型：推荐性
标准英文：Specifications of physical vapour deposition TiN films
标准状态：现行
发布日期：2002-08-01
实施日期：2002-03-10
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：机械制造
国内标准分类号：A29
国际标准分类：25.220.20
技术归口：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：武汉材料保护研究所
起草人：