标准编号：GB/T 19922-2005
标准名称：硅片局部平整度非接触式标准测试方法
标准类型：推荐性
标准英文：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
标准状态：现行
发布日期：2006-04-01
实施日期：2005-09-19
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H17
国际标准分类：77.040.01
技术归口：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司
起草人：