标准编号：GB/T 20176-2006
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
标准类型：推荐性
标准英文：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准状态：现行
发布日期：2006-11-01
实施日期：2006-03-27
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：N33
国际标准分类：71.040.40
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：清华大学电子工程系
起草人：查良镇 陈旭 黄天斌 刘林 黄雁华王光普