标准编号：GB/T 11073-2007
标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
标准类型：推荐性
标准英文：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
标准状态：现行
发布日期：2008-02-01
实施日期：2007-09-11
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H17
国际标准分类：77.040.01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：GB/T 11073-1989
起草单位：峨嵋山半导体材料厂
起草人：