标准编号：GB/T 24468-2009
标准名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
标准类型：推荐性
标准英文：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
标准状态：现行
发布日期：2009-12-01
实施日期：2009-10-15
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：计量学和测量、物理现象
国内标准分类号：L85
国际标准分类：17.040.30
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：中国电子技术标准化研究所
起草人：黄英华 刘筠 张建勇蒋迪宝