标准编号：GB/T 14140-2009
标准名称：硅片直径测量方法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
标准状态：现行
发布日期：2010-06-01
实施日期：2009-10-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电气工程
国内标准分类号：H82
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993
起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司
起草人：刘玉芹 蒋建国 张静雯冯校亮