标准编号：GB/T 14141-2009
标准名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
标准状态：现行
发布日期：2010-06-01
实施日期：2009-10-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电气工程
国内标准分类号：H80
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：GB/T 14141-1993
起草单位：宁波立立电子股份有限公司信息产业部专用材料质量监督检验中心 南京国盛电子有限公司
起草人：李慎重 许峰 马林宝 何秀坤 刘培东谌攀