标准编号：GB/T 14603-2009
标准名称：电子工业用气体 三氟化硼
标准类型：推荐性
标准英文：Gases for electronic industry - Boron trifluoride
标准状态：现行
发布日期：2010-05-01
实施日期：2009-10-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：GB/T 14603-1993
起草单位：核工业理化工程研究院西南化工研究设计院 大连光明化工研究院
起草人：邓建平 倪志强 孙福楠周鹏云