标准编号：GB/T 26113-2010
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
标准类型：推荐性
标准英文：Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
标准状态：现行
发布日期：2011-10-01
实施日期：2011-01-10
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L55
国际标准分类：31.200
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：中机生产力促进中心天津大学 西安交通大学 中原工学院
起草人：丁红宇 张苹 景蔚萱 刘伟蒋庄德