标准编号:GB/T 25915.6-2010
标准名称:洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
标准类型:推荐性
标准英文:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary
标准状态:现行
发布日期:2011-05-01
实施日期:2011-01-14
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:综合、术语学、标准化、文献
国内标准分类号:C70
国际标准分类:01.040.13
技术归口:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:基础
代替标准:
起草单位:苏州市洁净室科技促进中心深圳市标准化研究院等 中国电子学会洁净技术分会
起草人:王尧 陈刚 乐细明 缪德骅涂有