标准编号：GB/T 28274-2012
标准名称：硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
标准类型：推荐性
标准英文：Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design
标准状态：现行
发布日期：2012-12-01
实施日期：2012-05-11
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L55
国际标准分类：31.200
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：北京大学中国电子科技集团第十三研究所西北工业大学 中机生产力促进中心 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
起草人：张大成 王玮 姜森林 崔波 刘伟杨芳