标准编号：GB/T 15861-2012
标准名称：离子束蚀刻机通用规范
标准类型：推荐性
标准英文：General specification of ion beam etching system
标准状态：现行
发布日期：2013-02-15
实施日期：2012-11-05
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：
国内标准分类号：L97
国际标准分类：
技术归口：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
标准类别：产品
代替标准：GB/T 15861-1995
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人：陈特超 周大良