标准编号：GB/T 29056-2012
标准名称：硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准类型：推荐性
标准英文：Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron，aluminium，phosphorus，vanadium，chrome，manganese，iron，cobalt，nickel，copper，molybdenum，arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method
标准状态：现行
发布日期：2013-10-01
实施日期：2012-12-31
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L90
国际标准分类：31.030
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：南京中锗科技股份有限公司南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心 南京大学现代分析中心
起草人：郑华荣 刘新军 黄和明 陈逸君 龚磊荣张莉萍