标准编号：GB/T 29506-2013
标准名称：300mm 硅单晶抛光片
标准类型：推荐性
标准英文：300mm polished monocrystalline silicon wafers
标准状态：现行
发布日期：2014-02-01
实施日期：2013-05-09
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电气工程
国内标准分类号：H82
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：有研半导体材料股份有限公司 中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人：闫志瑞 孙燕 张果虎 向磊 盛方毓卢立延