标准编号：GB/T 32999-2016
标准名称：表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
标准类型：推荐性
标准英文：Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
标准状态：现行
发布日期：2017-09-01
实施日期：2016-10-13
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G04
国际标准分类：71.040.40
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：北京师范大学分析测试中心 清华大学分析中心
起草人：吴正龙 姚文清