标准编号：GB/T 33922-2017
标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
标准类型：推荐性
标准英文：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
标准状态：现行
发布日期：2018-02-01
实施日期：2017-07-12
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L55
国际标准分类：31.200
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：北京大学北京必创科技股份有限公司中北大学 中机生产力促进中心 中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人：张威 程红兵 崔波 石云波 陈得民李海斌朱悦