标准编号：GB/T 34649-2017
标准名称：磁控溅射用钌靶
标准类型：推荐性
标准英文：Magnetron sputtering ruthenium target
标准状态：现行
发布日期：2018-04-01
实施日期：2017-09-29
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H68
国际标准分类：77.150.99
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：有研亿金新材料有限公司 有色金属技术经济研究院
起草人：罗俊锋 丁照崇 万小勇 刘书芹 贺昕 滕海涛 李勇军向磊熊晓东王庄高岩