标准编号：GB/T 14142-2017
标准名称：硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique
标准状态：现行
发布日期：2018-04-01
实施日期：2017-09-29
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H25
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：GB/T 14142-1993
起草单位：南京国盛电子有研公司浙江金瑞泓科技股份有限公司 有研半导体材料有限公司
起草人：马林宝 骆红 陈赫 张海英 杨帆刘小青