标准编号：GB/T 34481-2017
标准名称：低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices
标准状态：现行
发布日期：2018-07-01
实施日期：2017-10-14
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H25
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：云南中科鑫圆晶体材料有限公司中科院半导体研究所 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司
起草人：惠峰 普世坤 董汝昆