标准编号：GB/T 34972-2017
标准名称：电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准类型：推荐性
标准英文：Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
标准状态：现行
发布日期：2018-02-01
实施日期：2017-11-01
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.040.40
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：上海市计量测试技术研究院高麦仪器公司北京华宇同方化工科技开发有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院有限公司 广东华特气体股份有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 中昊光明化工研究设计院有限公司
起草人：陈鹰 姜阳 傅铸红 杜汉盛 方华 常侠 周鹏云牛艳东江罗许军洲