标准编号：GB/T 34898-2017
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
标准类型：推荐性
标准英文：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
标准状态：现行
发布日期：2018-05-01
实施日期：2017-11-01
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L55
国际标准分类：31.200
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：北京遥测技术研究所 中机生产力促进中心
起草人：李庆丰 金小锋 程红兵 李海斌朱悦