标准编号:GB/T 35310-2017
标准名称:200mm硅外延片
标准类型:推荐性
标准英文:200mm silicon epitaxial wafer
标准状态:现行
发布日期:2018-07-01
实施日期:2017-12-29
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:电气工程
国内标准分类号:H82
国际标准分类:29.045
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:产品
代替标准:
起草单位:南京国盛电子有限公司 有色金属技术经济研究院
起草人:马林宝 骆红 杨素心 杨帆金龙