标准编号：GB/T 36053-2018
标准名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
标准类型：推荐性
标准英文：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
标准状态：现行
发布日期：2019-02-01
实施日期：2018-03-15
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G04
国际标准分类：71.040.40
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：中国计量科学研究院
起草人：王海 王梅玲 张艾蕊宋小平