标准编号：GB/T 36646-2018
标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
标准类型：推荐性
标准英文：Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
标准状态：现行
发布日期：2019-01-01
实施日期：2018-09-17
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L95
国际标准分类：31.220
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司 中国电子技术标准化研究院
起草人：刘鹏 孙永健 王健辉 丁晓民冯亚彬