标准编号:GB/T 36653-2018
标准名称:电子级三甲基铝
标准类型:推荐性
标准英文:Electronic grade trimethylaluminium
标准状态:现行
发布日期:2019-01-01
实施日期:2018-09-17
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:化工技术
国内标准分类号:G86
国际标准分类:71.100.20
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:产品
代替标准:
起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司 中国电子技术标准化研究院
起草人:陈化冰 孙明璐 王香曹可慰