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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

标准号
GB/T 36653-2018
下载格式
PDF
发布日期
2019-01-01
实施日期
2018-09-17
标准类别
国家标准
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简介

标准编号:GB/T 36653-2018

标准名称:电子级三甲基铝

标准类型:推荐性

标准英文:Electronic grade trimethylaluminium

标准状态:现行

发布日期:2019-01-01

实施日期:2018-09-17

标准语言:中文

发布部委:

国际分类:化工技术

国内标准分类号:G86

国际标准分类:71.100.20

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

标准类别:产品

代替标准:

起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司 中国电子技术标准化研究院

起草人:陈化冰 孙明璐 王香曹可慰

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