标准编号:GB/T 4060-2018
标准名称:硅多晶真空区熔基硼检验方法
标准类型:推荐性
标准英文:Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
标准状态:现行
发布日期:2019-06-01
实施日期:2018-09-17
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:冶金
国内标准分类号:H17
国际标准分类:77.040
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:GB/T 4060-2007
起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司洛阳中硅高科技有限公司 亚洲硅业(青海)有限公司 峨嵋半导体材料研究所
起草人:胡伟 刘晓霞 王桃霞 胡自强 万烨 杨旭 耿全荣鲁文锋宗冰肖建忠