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GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

标准号
GB/T 37053-2018
下载格式
PDF
发布日期
2019-07-01
实施日期
2018-12-28
标准类别
国家标准
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简介

标准编号:GB/T 37053-2018

标准名称:氮化镓外延片及衬底片通用规范

标准类型:推荐性

标准英文:General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

标准状态:现行

发布日期:2019-07-01

实施日期:2018-12-28

标准语言:中文

发布部委:

国际分类:电气工程

国内标准分类号:H83

国际标准分类:29.045

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

标准类别:产品

代替标准:

起草单位:东莞市中镓半导体科技有限公司苏州纳维科技有限公司中国电子技术标准化研究院 合肥彩虹蓝光科技有限公司 南京大学电子科学与工程学院

起草人:丁晓民 刘南柳 修向前 孙永健 潘尧波徐科王香张国义

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