标准编号：GB/T 16596-2019
标准名称：确定晶片坐标系规范
标准类型：推荐性
标准英文：Specification for establishing a wafer coordinate system
标准状态：现行
发布日期：2020-02-01
实施日期：2019-03-25
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电气工程
国内标准分类号：H80
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：GB/T 16596-1996
起草单位：有色金属技术经济研究院浙江海纳半导体有限公司上海合晶硅材料有限公司 有研半导体材料有限公司 浙江省硅材料质量检验中心
起草人：卢立延 孙燕 楼春兰 胡金枝 潘金平杨素心李素青