标准编号：GB/T 37959-2019
标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
标准类型：推荐性
标准英文：Information model for containing process chamber IC equipment design
标准状态：现行
发布日期：2020-03-01
实施日期：2019-08-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：信息技术、办公机械
国内标准分类号：J07
国际标准分类：35.240.50
技术归口：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：中车信息技术有限公司北京机械工业自动化研究所有限公司 清华大学 中国石油规划总院
起草人：顾明 程嘉 陈莉 曹自立 王海丹 王峰 李丽季林红张颖黎晓东