标准编号：GB/T 38447-2020
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
标准类型：推荐性
标准英文：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
标准状态：现行
发布日期：2020-07-01
实施日期：2020-03-06
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L55
国际标准分类：31.200
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：北京大学北京智芯传感科技有限公司浙江博亚精密机械有限公司北京必创科技股份有限公司 中机生产力促进中心 沈阳国仪检测技术有限公司 中北大学
起草人：张威 张亚婷 朱悦 石云波 周浩楠 陈得民 于振毅陆学贵李海斌程逸轩