标准编号：GB/T 38616-2020
标准名称：纳米定位与扫描平台术语
标准类型：推荐性
标准英文：Terminology for nano positioning and scaning stage
标准状态：现行
发布日期：2020-11-01
实施日期：2020-04-28
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：综合、术语学、标准化、文献
国内标准分类号：N10
国际标准分类：01.040.39
技术归口：全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部（电子）
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：沈阳建筑大学广东工业大学苏州昊通仪器科技有限公司 三英精控（天津）仪器设备有限公司 中国计量科学研究院 沈阳理工大学
起草人：须颖 戴敬 施玉书 贾静 王贺 安冬邵萌戴超文杰