标准编号：GB/T 39145-2020
标准名称：硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
标准状态：现行
发布日期：2021-09-01
实施日期：2020-10-11
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H17
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：南京国盛电子有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司有色金属技术经济研究院龙腾半导体有限公司 有研半导体材料有限公司 上海合晶硅材料有限公司 无锡华瑛微电子技术有限公司 厦门科鑫电子有限公司
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