标准编号：GB/T 39159-2020
标准名称：集成电路用高纯铜合金靶材
标准类型：推荐性
标准英文：High purity copper alloy target for integrated circuit
标准状态：现行
发布日期：2021-10-01
实施日期：2020-11-19
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H62
国际标准分类：77.150.30
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司宁波微泰真空技术有限公司 有研亿金新材料有限公司
起草人：曹欢欢 袁海军 曾浩 边逸军 贺昕 慕二龙 姚力军王学泽钟伟华周友平高岩江伟龙