标准编号：GB/T 40110-2021
标准名称：表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
标准类型：推荐性
标准英文：Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准状态：现行
发布日期：2021-12-01
实施日期：2021-05-21
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G04
国际标准分类：71.040.40
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：中国计量科学研究院 华南理工大学
起草人：王海 张艾蕊 徐昕荣 范燕 王梅玲任丹华