标准编号：GB/T 14146-2021
标准名称：硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
标准状态：现行
发布日期：2021-12-01
实施日期：2021-05-21
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H21
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：GB/T 14146-2009
起草单位：南京国盛电子有限公司中电晶华（天津）半导体材料有限公司河北普兴电子科技股份有限公司瑟米莱伯贸易（上海）有限公司义乌力迈新材料有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司 有研半导体材料有限公司 浙江金瑞泓科技股份有限公司 无锡华润上华科技有限公司
起草人：骆红 潘文宾 赵而敬 张佳磊 严琴 黄宇程 杨素心赵扬李慎重黄黎皮坤林