标准编号：GB/T 40109-2021
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
标准类型：推荐性
标准英文：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
标准状态：现行
发布日期：2021-12-01
实施日期：2021-05-21
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G04
国际标准分类：71.040.40
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：马农农 何友琴 王东雪 李展平 陈潇张鑫