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GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法

标准号
GB/T 41064-2021
下载格式
PDF
发布日期
2022-07-01
实施日期
2021-12-31
标准类别
国家标准
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简介

标准编号:GB/T 41064-2021

标准名称:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法

标准类型:推荐性

标准英文:Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films

标准状态:现行

发布日期:2022-07-01

实施日期:2021-12-31

标准语言:中文

发布部委:

国际分类:化工技术

国内标准分类号:G04

国际标准分类:71.040.40

技术归口:全国微束分析标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

标准类别:方法

代替标准:

起草单位:清华大学 中国石油大学(北京)

起草人:姚文清 段建霞 李展平 徐同广 杨立平王雅君王岩华

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