标准编号:GB/T 41064-2021
标准名称:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
标准类型:推荐性
标准英文:Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films
标准状态:现行
发布日期:2022-07-01
实施日期:2021-12-31
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:化工技术
国内标准分类号:G04
国际标准分类:71.040.40
技术归口:全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:清华大学 中国石油大学(北京)
起草人:姚文清 段建霞 李展平 徐同广 杨立平王雅君王岩华