标准编号：GB/T 41652-2022
标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环
标准类型：推荐性
标准英文：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
标准状态：现行
发布日期：2023-02-01
实施日期：2022-07-11
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电气工程
国内标准分类号：H 82
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：有研半导体硅材料股份公司新美光（苏州）半导体科技有限公司 山东有研半导体材料有限公司 浙江海纳半导体有限公司
起草人：库黎明 孙燕 夏秋良 潘金平 闫志瑞张果虎