标准编号：GB/T 41765-2022
标准名称：碳化硅单晶位错密度的测试方法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
标准状态：现行
发布日期：2023-05-01
实施日期：2022-10-12
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H21
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人：彭同华 佘宗静 赵宁 王波 李素青 娄艳芳王大军郭钰杨建