标准编号：GB/T 37211.3-2022
标准名称：金属锗化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
标准类型：推荐性
标准英文：Method for chemical analysis of metal germanium—Part 3: Determination of trace impurity elements content—Glow discharge mass spectrometry
标准状态：现行
发布日期：2023-04-01
实施日期：2022-12-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H17
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：安徽光智科技有限公司国标（北京）检验认证有限公司东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司广东先导稀材股份有限公司 云南驰宏锌锗股份有限公司 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 有研国晶辉新材料有限公司 广东飞成新材料有限公司
起草人：朱赞芳 谭秀珍 吴王昌 黎亚文 李正美 崔丁方 廖吉伟刘红李瑶刘英波李江霖段春芳