标准编号：GB/T 42106-2022
标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
标准类型：推荐性
标准英文：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
标准状态：现行
发布日期：2023-07-01
实施日期：2022-12-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：数学、自然科学
国内标准分类号：A42
国际标准分类：07.030
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：中国科学院物理研究所深圳市标准技术研究院 国家纳米科学中心
起草人：顾长志 杨海方 王益群 樊阳波 李俊杰刘前