标准编号：GB/T 42158-2023
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
标准类型：推荐性
标准英文：Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
标准状态：现行
发布日期：2023-07-01
实施日期：2023-03-17
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L59
国际标准分类：31.080.99
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：苏州市质量和标准化院苏州揽芯微纳科技有限公司苏州市标准化协会深圳市中图仪器股份有限公司深圳市美思先端电子有限公司深圳市道格特科技有限公司 中机生产力促进中心有限公司 东南大学 美满芯盛（杭州）微电子有限公司 四川富生电器有限责任公司 中国合格评定国家认可中心
起草人：张硕 顾枫 俞骁 周再发 许百宏 许克宇 李根梓沈俊杰王敏锐贾建国王志远刘志广