标准编号：GB/T 42709.5-2023
标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关
标准类型：推荐性
标准英文：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5: RF MEMS switches
标准状态：现行
发布日期：2023-09-01
实施日期：2023-05-23
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L40
国际标准分类：31.200
技术归口：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：中国电子技术标准化研究院北京大学河北美泰电子科技有限公司 中国电子信息产业集团有限公司 北京必创科技股份有限公司
起草人：刘若冰 李博 崔波 翟晓飞 张威陈得民