标准编号：GB/T 26111-2023
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
标准类型：推荐性
标准英文：Micro-electromechanical system technology—Terms
标准状态：现行
发布日期：2023-09-01
实施日期：2023-05-23
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L59
国际标准分类：31.080.99
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：GB/T 26111-2010
起草单位：中机生产力促进中心有限公司苏州大学无锡华润上华科技有限公司北京航空航天大学天津大学西安现代控制技术研究所北京晨晶电子有限公司中国电子科技集团公司第十三研究所广州广电计量检测股份有限公司杭州左蓝微电子技术有限公司华东光电集成器件研究所明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司 西安知微传感技术有限公司 北京大学 中国科学院空天信息创新研究院 上海交通大学 北京航天控制仪器研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 天津新智感知科技有限公司 中国科学院微电子研究所 南京高华科技股份有限公司 广州奥松电子股份有限公司 江苏普诺威电子股份有限公司
起草人：顾枫 宋秀敏 张大成 夏长奉 张卫平 胡晓东 刘奎 熊斌 崔波 陈得民 李晓波 SHUMINZHANG 杨飞 高峰 李根梓孙立宁夏善红董全林刘会聪邢朝洋张永斌张威王玮冰明志茂张宾张胜兵