标准编号:GB/T 35306-2023
标准名称:硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
标准类型:推荐性
标准英文:Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method
标准状态:现行
发布日期:2024-03-01
实施日期:2023-08-06
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:冶金
国内标准分类号:H17
国际标准分类:77.040
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:GB/T 35306-2017
起草单位:青海芯测科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司洛阳中硅高科技有限公司亚洲硅业(青海)股份有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司弘元新材料(包头)有限公司 隆基绿能科技股份有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 布鲁克(北京)科技有限公司 宜昌南玻硅材料有限公司 新疆新特新能材料检测中心有限公司 高景太阳能股份有限公司
起草人:薛心禄 秦榕 邓浩 岳玉芳 张园园 赵跃 陈卫国 路盛刚 邱艳梅 李向宇 汪奇 李素青杨晓青李明珍赵雄雷浩东蔡延国徐岩张遵杨阳徐志群