标准编号：GB/Z 43684-2024
标准名称：纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数
标准类型：指导性技术文件
标准英文：Nanotechnologies—Description, measurement and dimensional quality parameters of gratings
标准状态：即将实施
发布日期：2024-10-01
实施日期：2024-03-15
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：数学、自然科学
国内标准分类号：L04
国际标准分类：07.120
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：中国计量科学研究院清华大学广纳四维（广东）光电科技有限公司 北京大学 苏州苏大维格科技集团股份有限公司
起草人：李伟 李适 陈林森 李晓军 施玉书 黄鹭 华鉴瑜 朱振东李群庆高思田李琪史瑞乔文